金融界2024年12月11日音讯，国家知识产权局信息数据显现，河北中科微电子有限公司获得一项名为“一种圆晶甩干机”的专利，授权公告号CN 222123809 U，请求日期为2024年3月。
专利摘要显现，本实用新型公开了一种圆晶甩干机，包含甩干箱，所述甩干箱的内底侧壁经过旋转驱动设备衔接有装置箱，所述装置箱呈顶部呈开口设置的圆筒，所述装置箱的顶部固定衔接有顶板，所述顶板上侧固定衔接有多个支撑片所述装置箱内底侧固定衔接有榜首电机，所述榜首电机经过传动设备衔接有四个螺纹杆，四个所述螺纹杆一端均滚动衔接在装置箱的内侧壁上，四个所述螺纹杆上均螺纹衔接有限位柱，所述顶板的侧壁上开设有四个呈贯穿设置的轨迹槽。本实用新型规划合理，构思奇妙，经过设置榜首斜齿轮、第二斜齿轮、螺纹杆、限位柱等部件相互配合，进而能依据晶圆的不一样的尺度晶圆的进行约束，适用性较高，便于推行。
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